Thickness Monitor

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年5月
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