Thickness Monitor

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728