Thickness Monitor

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
2026年7月
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