Thickness Monitor

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年2月
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