Thickness Monitor

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年5月
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