Thickness Monitor

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年6月
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