Thickness Monitor

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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