Thickness Monitor

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年3月
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