Thickness Monitor

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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