Thickness Monitor

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年12月
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