Thickness Monitor

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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