Thickness Monitor

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  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  10. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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