Thickness Monitor

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  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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