Thickness Monitor

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  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

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  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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