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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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