Thickness Monitor

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  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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