Thickness Monitor

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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