Thickness Monitor

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  2. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年9月
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