Thickness Monitor

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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