Thickness Monitor

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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