Thickness Monitor

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年6月
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