Thickness Monitor

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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