Thickness Monitor

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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