Thickness Monitor

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年5月
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