Thickness Monitor

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年4月
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