Thickness Monitor

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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