Thickness Monitor

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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