Thickness Monitor

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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