Thickness Monitor

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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