Thickness Monitor

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年3月
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