Thickness Monitor

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年3月
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