Thickness Monitor

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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