Thickness Monitor
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EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS
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