Thickness Monitor

  1. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年6月
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