Thickness Monitor

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  8. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年6月
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