Thickness Monitor

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年4月
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