Thickness Monitor

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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