Thickness Monitor

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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