Thickness Monitor
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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