Thickness Monitor

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  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
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