Thickness Monitor

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年2月
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