Thickness Monitor

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年1月
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