Thickness Monitor

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年5月
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