Thickness Monitor

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
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