Thickness Monitor

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. 恒温槽　エスペック　PH-402

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  4. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
2026年6月
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