Thickness Monitor

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
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