Thickness Monitor

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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