Thickness Monitor

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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