Thickness Monitor

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
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