Thickness Monitor

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  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

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  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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