Thickness Monitor

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年3月
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