Thickness Monitor

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年4月
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