Thickness Monitor

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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