Thickness Monitor

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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