Thickness Monitor

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年12月
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