Thickness Monitor

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  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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