Thickness Monitor

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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