Thickness Monitor

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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