Thickness Monitor

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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