Thickness Monitor

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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