Thickness Monitor

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. ダイサー　ディスコ　DAD522

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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