Thickness Monitor

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2026年4月
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