Thickness Monitor

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  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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