Thickness Monitor

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年4月
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