Thickness Monitor

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年1月
月 火 水 木 金 土 日
 1234
567891011
12131415161718
19202122232425
262728293031