Thickness Monitor

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031