Thickness Monitor

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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