Thickness Monitor

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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