Thickness Monitor

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  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
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