Thickness Monitor

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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