Thickness Monitor

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  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年12月
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