Thickness Monitor

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  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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