Thickness Monitor

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
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