Thickness Monitor

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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