Thickness Monitor

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  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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