Thickness Monitor

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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