Thickness Monitor

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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