Thickness Monitor

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
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