Thickness Monitor

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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