Thickness Monitor

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
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