Thickness Monitor

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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