Thickness Monitor

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  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
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