Thickness Monitor

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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