Thickness Monitor

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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