Thickness Monitor

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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