Thickness Monitor

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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