Thickness Monitor

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  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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