Thickness Monitor

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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