Thickness Monitor

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  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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