Thickness Monitor

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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