Thickness Monitor

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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