Thickness Monitor

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2025年12月
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