Thickness Monitor

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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