Thickness Monitor

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
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