Thickness Monitor

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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