Thickness Monitor

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
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