Thickness Monitor

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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