Thickness Monitor

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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