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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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ダイサー ディスコ DAD522
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
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ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
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四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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