Thickness Monitor

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年4月
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