Thickness Monitor

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
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