Thickness Monitor

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. RF電源　RFPP　RF10S
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
2026年6月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
2930