Thickness Monitor

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年4月
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