Thickness Monitor

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年6月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
2930