Thickness Monitor

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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