Thickness Monitor

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年12月
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