Thickness Monitor

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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