Thickness Monitor

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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