Thickness Monitor

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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