Thickness Monitor

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  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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