Thickness Monitor

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
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