Thickness Monitor

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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