Thickness Monitor

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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