Thickness Monitor

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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