Thickness Monitor

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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