Thickness Monitor

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
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