Thickness Monitor

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  2. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  8. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年6月
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