Thickness Monitor

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
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