Thickness Monitor

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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