Thickness Monitor

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年4月
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