株式会社未来産業技術研究所
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Thickness Monitor・日本電子（JOEL）・FC-TM10
AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX10…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC LU-114
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 …
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
