Thickness Monitor

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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