Thickness Monitor

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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