Thickness Monitor

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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