Thickness Monitor

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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