Thickness Monitor

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  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年12月
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