Thickness Monitor

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
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