Thickness Monitor

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
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