Thickness Monitor

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  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

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  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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