Thickness Monitor

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年12月
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