Thickness Monitor

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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