Thickness Monitor

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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