Thickness Monitor

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    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

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  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

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  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

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  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

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  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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