Thickness Monitor

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年4月
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