Thickness Monitor

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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