Thickness Monitor

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年12月
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