Thickness Monitor

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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