Thickness Monitor

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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