Thickness Monitor

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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