Thickness Monitor

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  4. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年5月
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