Thickness Monitor

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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