Thickness Monitor

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年12月
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