Thickness Monitor

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  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

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  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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