Thickness Monitor

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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