Thickness Monitor

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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