Thickness Monitor

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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