Thickness Monitor

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. ダイサー　ディスコ　DAD522

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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