Thickness Monitor

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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