Thickness Monitor

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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