Thickness Monitor

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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