Thickness Monitor

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年2月
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