Thickness Monitor

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. ダイサー　ディスコ　DAD522

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
2026年5月
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