Thickness Monitor

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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