Thickness Monitor

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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