Thickness Monitor

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年3月
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