Thickness Monitor

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  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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