Thickness Monitor

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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