Thickness Monitor

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年3月
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