Thickness Monitor

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  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

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  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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