Thickness Monitor

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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