Thickness Monitor

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年3月
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