Thickness Monitor

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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