Thickness Monitor

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  6. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2025年4月
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