Thickness Monitor

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  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

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  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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