Thickness Monitor

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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