Thickness Monitor

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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