Thickness Monitor

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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