Thickness Monitor

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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