Thickness Monitor

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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