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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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ダイサー ディスコ DAD522
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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