Thickness Monitor

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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