Thickness Monitor

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  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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