Thickness Monitor

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
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