Thickness Monitor

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年1月
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