Thickness Monitor

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年6月
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