Thickness Monitor

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031