Thickness Monitor

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
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