Thickness Monitor

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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