Thickness Monitor

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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