Thickness Monitor

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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