Thickness Monitor

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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