Thickness Monitor

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年6月
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