Thickness Monitor

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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