Thickness Monitor

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年2月
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