Thickness Monitor

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
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