Thickness Monitor

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年6月
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