Thickness Monitor

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年3月
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