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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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