Thickness Monitor

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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