Thickness Monitor

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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