Thickness Monitor

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年6月
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