Thickness Monitor

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年3月
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