RO純水製造装置

  1. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年6月
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