RO装置

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  7. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  8. 真空オーブン ヤマト科学 ADP200

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  3. イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG

  4. 恒温槽 エスペック PH-402

  5. ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300

  6. 遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS

  7. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  8. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  9. オゾンガスモニター APPLICS OZG-EM-010K

  10. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

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