樹脂材料タンク

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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