樹脂材料タンク

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年3月
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