樹脂材料タンク

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年12月
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