樹脂材料タンク

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  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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