樹脂材料タンク

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年5月
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