樹脂材料タンク

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
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