樹脂材料タンク

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
2026年5月
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