樹脂材料タンク

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
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