樹脂材料タンク

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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