樹脂材料タンク

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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