樹脂材料タンク

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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