樹脂材料タンク

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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