樹脂材料タンク

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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