樹脂材料タンク

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年6月
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