樹脂材料タンク

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年1月
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