樹脂材料タンク

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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