樹脂材料タンク

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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