リフロー炉

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年12月
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