リフロー炉

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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