リフロー炉

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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