リフロー炉

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年2月
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