リフロー炉

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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