リフロー炉

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年5月
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