リフロー炉

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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