リフロー炉

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
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