リフロー炉

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年3月
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