リフロー炉

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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