リフロー炉

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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