リフロー炉

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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