リフロー炉

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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