リフロー炉

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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