リフロー炉

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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