リフロー炉

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年5月
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