リフロー炉

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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