リフロー炉

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年5月
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