リフロー炉

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
2026年7月
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