リフロー炉

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年5月
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