リフロー炉

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年6月
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