リフロー炉

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年2月
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