リフロー炉

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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