リフロー炉

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2025年12月
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