リフロー炉

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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