リフロー炉

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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