リフロー炉

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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