リフロー炉

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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