リフロー炉

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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