リフロー炉

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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