リフロー炉

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  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

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  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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