リフロー炉

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年6月
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