リフロー炉

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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