リフロー炉

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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