リフロー炉

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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