リフロー炉

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年3月
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