リフロー炉

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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