リフロー炉

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. RF電源　RFPP　RF20S
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
2026年6月
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