リフロー炉

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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