リフロー炉
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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