リフロー炉

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年12月
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