リフロー炉

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年1月
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