リフロー炉

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年3月
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