リフロー炉

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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