リフロー炉

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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