リフロー炉

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. ダイサー　ディスコ　DAD522

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  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
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