リフロー炉

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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