リフロー炉

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
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