リフロー炉

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年1月
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