リフロー炉

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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