リフロー炉

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
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