リフロー炉

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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