リフロー炉

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年2月
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