リフロー炉

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年4月
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