リフロー炉

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 恒温槽　エスペック　PH-402

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
2026年6月
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