リフロー炉

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年4月
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