リフロー炉

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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