リフロー炉

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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