リフロー炉

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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