リフロー炉

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年12月
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