ピペット洗浄機

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  2. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  3. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

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  6. ダイサー ディスコ DAD522

  7. ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…

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  10. 3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus

  1. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

  3. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  5. ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300

  6. ウェハーマウンター 日東電工 M286N

  7. 真空排気装置 アルバック機工 VPC-050

  8. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  9. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  10. サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012

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