株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:ブランソン(ヤマト科学)型式:5510J-MT槽内寸法 W292×D241×H152mm 発振周波数 ±1000Hzこちらの超音波洗浄は、メ…
メーカー:EYELA(東京理化機械) 型式:AU-100CR ピ…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S