株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:ブランソン(ヤマト科学)型式:5510J-MT槽内寸法 W292×D241×H152mm 発振周波数 ±1000Hzこちらの超音波洗浄は、メ…
メーカー:EYELA(東京理化機械) 型式:AU-100CR ピ…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E