株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:ブランソン(ヤマト科学)型式:5510J-MT槽内寸法 W292×D241×H152mm 発振周波数 ±1000Hzこちらの超音波洗浄は、メ…
メーカー:EYELA(東京理化機械) 型式:AU-100CR ピ…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …