ピペット洗浄機

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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