フィリップチップボンダー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. プレス機　ミカドテクノス製　MKP-5000D-[M231120A24]
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…

  4. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2024年7月
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