フィリップチップボンダー

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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