フィリップチップボンダー

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年8月
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