パスボックス

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  4. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年11月
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