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  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック製　SH-641-[M240904A08]

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2024年11月
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