窒素精製装置

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年5月
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