窒素精製装置

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  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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