窒素精製装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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