窒素精製装置

  1. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. RF電源　RFPP　RF20S

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年6月
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