窒素精製装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2025年12月
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