窒素精製装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年1月
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