窒素精製装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年4月
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