窒素精製装置

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年6月
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