窒素精製装置

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  5. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  6. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  7. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  8. ドライポンプ 樫山 NeoDry7E

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  10. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

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