窒素精製装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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