窒素精製装置

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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