窒素精製装置

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年1月
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