窒素精製装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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