窒素精製装置

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  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

    ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…

  10. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  1. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

  3. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  4. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  5. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  6. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  7. ドライポンプ 樫山 NeoDry7E

  8. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  10. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

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