窒素精製装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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