窒素精製装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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