窒素精製装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
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