窒素精製装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年5月
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