窒素精製装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2025年12月
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