窒素精製装置

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
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