窒素精製装置

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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