窒素精製装置

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  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

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  4. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  5. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  6. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…

  7. イオンスパッタ装置、日立、E1030

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  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

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