窒素精製装置

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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