窒素精製装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年3月
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