窒素精製装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  7. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年6月
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