窒素精製装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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