窒素精製装置

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  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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