窒素精製装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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