窒素精製装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年2月
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