窒素精製装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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