窒素精製装置

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  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  5. イオンコーター・日立・E-1010

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  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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