窒素精製装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  8. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年7月
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