窒素精製装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年3月
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