窒素精製装置

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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