窒素精製装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
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