窒素精製装置

  1. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  2. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  3. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …

  6. 恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP

  7. 恒温恒湿槽 エスペック PL-1J

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

  9. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  10. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  1. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  2. ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600

  3. チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A

  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  7. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 卓上型クリーンブース アズワン ピュアスペースPS0…

  10. パルスユニット アルバック A2KH-25

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