窒素精製装置

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年5月
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