窒素精製装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年5月
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