窒素精製装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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