窒素精製装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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