窒素精製装置

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
2026年5月
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