窒素精製装置

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  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
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