窒素精製装置

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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