窒素精製装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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