窒素精製装置

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年5月
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