窒素精製装置

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  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

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  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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