窒素精製装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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