窒素精製装置

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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