窒素精製装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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