窒素精製装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年5月
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