窒素精製装置

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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