窒素精製装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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