窒素精製装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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