窒素精製装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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