窒素精製装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年5月
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