窒素精製装置

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年6月
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