窒素精製装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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