窒素精製装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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