メガオームテスター

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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