質量分析

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年8月
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