液体窒素自動供給装置
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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ターボ分子ポンプ 大阪真空 TG1003VW/TC1003(コ…
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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ウェハーマウンター 日東電工 M286N
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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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