液体窒素自動供給装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
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