液体窒素自動供給装置

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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