液体窒素自動供給装置

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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