液体窒素自動供給装置

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  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

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  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年1月
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