液体窒素自動供給装置

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年6月
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