液体窒素自動供給装置

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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