液体窒素自動供給装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年2月
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