液体窒素自動供給装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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