液体窒素自動供給装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年2月
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