液体窒素自動供給装置

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  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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