液体窒素自動供給装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2025年12月
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