液体窒素自動供給装置

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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