液体窒素自動供給装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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