液体窒素自動供給装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年3月
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