液体窒素自動供給装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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