液体窒素自動供給装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年5月
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