液体窒素自動供給装置

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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