液体窒素自動供給装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年5月
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