液体窒素自動供給装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年11月
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