液体窒素自動供給装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
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