液体窒素自動供給装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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