液体窒素自動供給装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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