液体窒素自動供給装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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