液体窒素自動供給装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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