液体窒素自動供給装置

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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