液体窒素自動供給装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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