液体窒素自動供給装置

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年3月
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