液体窒素自動供給装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年4月
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