液体窒素自動供給装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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