液体窒素自動供給装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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