液体窒素自動供給装置

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年1月
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