液体窒素自動供給装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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