液体窒素自動供給装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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