液体窒素自動供給装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年3月
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