液体窒素自動供給装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年6月
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