液体窒素自動供給装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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