液体窒素自動供給装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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