液体窒素自動供給装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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