液体窒素自動供給装置

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
2026年5月
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