液体窒素自動供給装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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