液体窒素自動供給装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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