液体窒素自動供給装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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