液体窒素自動供給装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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