液体窒素自動供給装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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