液体窒素自動供給装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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