液体窒素自動供給装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年3月
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