液体窒素自動供給装置

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  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年3月
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