液体窒素自動供給装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年3月
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