液体窒素自動供給装置

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  2. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年6月
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