液体窒素自動供給装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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