液体窒素自動供給装置

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年6月
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