液体窒素自動供給装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
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