液体窒素自動供給装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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