液体窒素自動供給装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年11月
月 火 水 木 金 土 日
 12
3456789
10111213141516
17181920212223
24252627282930