液体窒素自動供給装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年1月
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