液体窒素自動供給装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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