液体窒素自動供給装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年5月
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