液体窒素自動供給装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
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