液体窒素自動供給装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年1月
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