液体窒素自動供給装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年1月
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