液体窒素自動供給装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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