液体窒素自動供給装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年3月
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