液体窒素自動供給装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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