液体窒素自動供給装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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