ICF152

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年6月
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