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  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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