へパフィルター

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年3月
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