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  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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