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  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
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  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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