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  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
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