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  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
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