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  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年6月
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