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  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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