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  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

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  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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