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  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年3月
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