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  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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