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  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
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