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  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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