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  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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