へパフィルター

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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