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  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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