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  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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