へパフィルター

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年2月
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