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  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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