へパフィルター

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  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
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