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  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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