へパフィルター

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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