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  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

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  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

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  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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