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  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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