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  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年6月
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