へパフィルター

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. RF電源　RFPP　RF10S
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