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  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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