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  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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