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  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
2026年6月
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