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  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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