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  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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