へパフィルター

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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