へパフィルター

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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