へパフィルター

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
2026年6月
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