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  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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