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  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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