へパフィルター

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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