へパフィルター

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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