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  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年3月
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