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  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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