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  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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