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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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ウェハーマウンター 日東電工 M286N
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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