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  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

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  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

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