へパフィルター

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年6月
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