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  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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