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  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

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  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
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