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  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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