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  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
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