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  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
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