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  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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