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  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
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