へパフィルター

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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