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  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年12月
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