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  1. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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