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  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年3月
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