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  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. RF電源　RFPP　RF10S
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