へパフィルター

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  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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