フリーザー

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年4月
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