フリーザー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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