放電加工機

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
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