放電加工機

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年5月
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