放電加工機

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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