放電加工機

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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