放電加工機

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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