放電加工機

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年11月
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