株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:Pansonic パナソニック製 型式:MG-ED82W最小穴加工径:φ15μm電極成形:WEDC(ワイヤ放電研削)方式 小径…
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
RF電源 RF POWER PRODUCTS RF5S
RF電源 RFPP RF20S
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
RO純水製造装置 東洋紡エンジニアリング TRO-60A
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
RF電源 RFPP RF10S
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER …