放電加工機
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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