放電加工機

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  6. RF電源　RFPP　RF20S
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
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