放電加工機
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恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
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恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
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「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
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真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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