株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:Pansonic パナソニック製 型式:MG-ED82W最小穴加工径:φ15μm電極成形:WEDC(ワイヤ放電研削)方式 小径…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)