放電加工機

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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