放電加工機

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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