放電加工機

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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