放電加工機

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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