放電加工機

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
2026年6月
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