放電加工機

  1. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
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