放電加工機

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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