株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:Pansonic パナソニック製 型式:MG-ED82W最小穴加工径:φ15μm電極成形:WEDC(ワイヤ放電研削)方式 小径…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
ダイサー ディスコ DAD522
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…