放電加工機

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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