放電加工機

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年12月
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