放電加工機

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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