放電加工機

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年4月
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