放電加工機

  1. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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