株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:Pansonic パナソニック製 型式:MG-ED82W最小穴加工径:φ15μm電極成形:WEDC(ワイヤ放電研削)方式 小径…
バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110