放電加工機

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2025年11月
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