株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:Pansonic パナソニック製 型式:MG-ED82W最小穴加工径:φ15μm電極成形:WEDC(ワイヤ放電研削)方式 小径…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
RF電源 RF POWER PRODUCTS RF5S
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…