放電加工機

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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