放電加工機

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
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