放電加工機

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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