放電加工機

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. ダイサー　ディスコ　DAD522

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
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