放電加工機

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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