放電加工機

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年6月
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