放電加工機

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年5月
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