株式会社未来産業技術研究所
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プラズマクリーナー サムコ PC-300
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スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…