EDX

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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