EDX

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  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

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  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

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  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年10月
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