EDX

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  9. デジタル内視鏡・TESLONG・NTS300

    デジタル内視鏡（ハンドヘルド産業用ボアスコープ）<…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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