マウンター

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
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