外観検査装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年5月
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