外観検査装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年6月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
2930