外観検査装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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