外観検査装置

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK・M210108A26

    ロータリーポンプ　アルバック製　D-950DK
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
2025年8月
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