外観検査装置

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年2月
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