外観検査装置

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年1月
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