外観検査装置

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年5月
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