外観検査装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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