外観検査装置
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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