外観検査装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年4月
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