外観検査装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年5月
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