外観検査装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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