外観検査装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年3月
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