外観検査装置

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
2026年5月
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