外観検査装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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