外観検査装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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