外観検査装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年3月
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