外観検査装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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