外観検査装置

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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