外観検査装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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