外観検査装置

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
2026年5月
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