外観検査装置

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  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年6月
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