外観検査装置

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年1月
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