外観検査装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年4月
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