外観検査装置

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年12月
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