外観検査装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年1月
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