外観検査装置

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
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