外観検査装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年5月
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