外観検査装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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