外観検査装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年11月
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