外観検査装置

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年6月
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