外観検査装置
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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