外観検査装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. ダイサー　ディスコ　DAD522

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
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