外観検査装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年4月
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