外観検査装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2025年12月
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