外観検査装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年1月
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