外観検査装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年4月
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