外観検査装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
2026年6月
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