外観検査装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
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