外観検査装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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