外観検査装置

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年6月
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