外観検査装置

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  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
2026年6月
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