外観検査装置

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年4月
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