外観検査装置
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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電気マッフル炉 島津製作所 MP-15
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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