外観検査装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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