外観検査装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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