外観検査装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
2026年5月
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