外観検査装置

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年5月
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