外観検査装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年12月
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