外観検査装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年11月
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