外観検査装置
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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