外観検査装置

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  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  8. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
2026年7月
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