外観検査装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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