外観検査装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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