外観検査装置

スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]