外観検査装置

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  1. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年6月
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