外観検査装置

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  9. RF電源　RFPP　RF20S

  10. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年6月
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