外観検査装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年6月
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