外観検査装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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