外観検査装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年3月
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