外観検査装置
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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