外観検査装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年5月
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