外観検査装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年11月
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