外観検査装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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