外観検査装置
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表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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