外観検査装置

  1. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年6月
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