外観検査装置

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. ダイサー　ディスコ　DAD522

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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