外観検査装置
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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