外観検査装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年12月
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