外観検査装置

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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