外観検査装置

  1. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031