外観検査装置

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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