外観検査装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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