外観検査装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2025年12月
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