外観検査装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年1月
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