外観検査装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年3月
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