外観検査装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年12月
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