外観検査装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年2月
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