外観検査装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年11月
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