外観検査装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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