外観検査装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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