外観検査装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年11月
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