外観検査装置

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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