外観検査装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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