外観検査装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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