外観検査装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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