外観検査装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年3月
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