外観検査装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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