外観検査装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年5月
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