外観検査装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年6月
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