外観検査装置

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年5月
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