外観検査装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年6月
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