外観検査装置

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
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