外観検査装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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