外観検査装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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