外観検査装置
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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