外観検査装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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