外観検査装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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