外観検査装置

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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