外観検査装置

  1. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年6月
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