外観検査装置

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年1月
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