外観検査装置

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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