外観検査装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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