外観検査装置

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  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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