電流計

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. RF電源　RFPP　RF20S

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年5月
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