電流計
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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プラズマクリーナー サムコ PC-300
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ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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ターボ分子ポンプ LEYBOLD TURBOVAC 361 (コント…
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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