電流計

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. RF電源　RFPP　RF20S

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  1. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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