電流計

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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