電流計

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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