電流計

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年6月
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