電流計

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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