電流計

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年6月
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