電流計

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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