電流計

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  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

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  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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