電流計

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年3月
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