電流計
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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