電流計

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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