電流計

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  4. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
2026年6月
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