電流計

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年2月
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