電流計

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  6. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  7. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年6月
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