電流計

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  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  5. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

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  7. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  8. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  9. チラー(外部開放系循環装置)・ヤマト科学・品名:クールライン・型式:CLH610

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