電流計
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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RF電源 RFPP RF20S
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW
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真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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