電流計

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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