電流計

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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