電流計

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
2026年5月
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