電流計

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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