電流計
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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