原子間力顕微鏡

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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