3Dプリンタ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年6月
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