高温恒温槽

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  7. イオンコーター・日立・E-1010

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  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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