高温恒温槽

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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