超音波洗浄器

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
2026年5月
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