超音波洗浄器

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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