表面粗さ計

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年8月
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