表面粗さ計

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  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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