水冷チラー

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  10. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …
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