成膜装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  8. イオンスパッタ装置　日立ハイテク　E-1045

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年8月
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