光学顕微鏡

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
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