光学定盤

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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