光学定盤

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年8月
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