保冷庫

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. イオンスパッタ装置　日立ハイテク　E-1045
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年8月
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