保冷庫

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. セラミック電気管状炉　アサヒ理化　ARF-30K / AMF-N
2025年10月
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