保冷庫

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年6月
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