交流電源

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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