交流電源

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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