レーザースキャンマイクロメーター

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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