ポータブル溶存酸素計

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年5月
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