ボルトメーター

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. RF電源　RFPP　RF20S
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
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