プラズマエッチング

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年9月
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