プラズマエッチング

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. RF電源　RFPP　RF10S
2026年6月
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