プラズマエッチング

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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