プラズマエッチング

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年11月
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