プラズマエッチング

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  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年6月
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