ウェハー研磨機

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年4月
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