ウェハー研磨機

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年10月
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