ウェハー研磨機

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  3. イオンスパッタ装置　日立ハイテク　E-1045

  4. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年8月
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