ウェハー研磨機

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  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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