ウェハー研磨機

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2025年12月
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