インプリント装置

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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