インプリント装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2025年12月
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