インプリント装置
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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電気炉-マッフル炉 ヤマダ電機 Y-2025-P[M240904A1…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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