インプリント装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2025年10月
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