インプリント装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. イオンスパッタ装置　日立ハイテク　E-1045

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2025年8月
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