インプリント装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年3月
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