イオンプレーティング

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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