イオン

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年5月
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