イオン

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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