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  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  2. ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK・M210108A26

    ロータリーポンプ　アルバック製　D-950DK

  3. イオンスパッタ装置　日立ハイテク　E-1045

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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