電界放射型電子顕微鏡

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年6月
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