電気掃除機

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
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