電気掃除機

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
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