電気掃除機

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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