電気掃除機
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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