電気掃除機

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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