電気掃除機

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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