電気掃除機

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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