電気掃除機

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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