電気掃除機

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ダイサー　ディスコ　DAD522

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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