電気掃除機

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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