超音波洗浄器

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
2026年6月
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