自家発電装置

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年8月
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