自家発電装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年7月
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