自家発電装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm – [M2…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  5. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
2025年7月
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