積層装置

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  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

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  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年9月
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