硬度計

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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