硬度計

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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