硬度計

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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