硬度計

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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