硬度計

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. RF電源　RFPP　RF20S

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 恒温槽　エスペック　PH-402

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. RF電源　RFPP　RF10S
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年6月
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