硬度計

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年1月
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