硬度計

  1. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  2. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年6月
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