硬度計

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年4月
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