硬度計

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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