硬度計

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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