硬度計

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年6月
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