硬度計

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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