硬度計

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年6月
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