硬度計

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年5月
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