硬度計

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年3月
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