硬度計

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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