硬度計

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年4月
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