硬度計

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  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

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  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

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  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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