硬度計

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年12月
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