硬度計

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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