硬度計

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年1月
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