硬度計

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年5月
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