硬度計

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年2月
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