波形モニター
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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