波形モニター

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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