波形モニター

  1. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2025年11月
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