波形モニター
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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