波形モニター

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
2026年6月
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