波形モニター

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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