波形モニター

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
2026年5月
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