波形モニター

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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