波形モニター

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年4月
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