波形モニター

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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