波形モニター
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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