波形モニター
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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