波形モニター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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