波形モニター

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年5月
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