波形モニター

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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