波形モニター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
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