波形モニター

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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