波形モニター

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年12月
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