波形モニター

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年3月
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