波形モニター

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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