波形モニター

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年12月
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