波形モニター

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  3. 恒温槽　エスペック　PH-402

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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