波形モニター

  1. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年1月
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