波形モニター

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
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