波形モニター

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  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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