波形モニター

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年6月
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