波形モニター

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年5月
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