波形モニター

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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