波形モニター

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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