波形モニター

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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