波形モニター

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2026年5月
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