波形モニター

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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