波形モニター

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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