波形モニター

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年4月
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