波形モニター

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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