波形モニター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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