波形モニター

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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