波形モニター

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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