波形モニター

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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