波形モニター

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
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