波形モニター

  1. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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