波形モニター

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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