波形モニター

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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