波形モニター

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年6月
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