波形モニター

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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