波形モニター

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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