波形モニター

  1. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  8. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
2026年6月
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