波形モニター

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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