波形モニター
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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