波形モニター

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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