波形モニター

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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