波形モニター

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031