波形モニター

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2025年12月
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