波形モニター

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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