波形モニター

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年12月
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