波形モニター

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年5月
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