波形モニター

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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