武蔵エンジニアリング

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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