武蔵エンジニアリング

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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