武蔵エンジニアリング

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年4月
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