武蔵エンジニアリング

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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