武蔵エンジニアリング

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年3月
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