武蔵エンジニアリング

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  8. 定温恒温槽（防爆仕様）ヤマト科学　DKN812-[M240104…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年5月
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