武蔵エンジニアリング

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2025年11月
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