武蔵エンジニアリング

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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