武蔵エンジニアリング
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ウェハーマウンター 日東電工 M286N
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EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
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