武蔵エンジニアリング

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年6月
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