武蔵エンジニアリング

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年5月
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