武蔵エンジニアリング

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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