武蔵エンジニアリング

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年4月
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