武蔵エンジニアリング
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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