武蔵エンジニアリング

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
2026年6月
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