武蔵エンジニアリング

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年1月
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