武蔵エンジニアリング

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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