武蔵エンジニアリング

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    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

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  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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