武蔵エンジニアリング

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
2026年5月
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