武蔵エンジニアリング

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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