武蔵エンジニアリング

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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