武蔵エンジニアリング

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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