武蔵エンジニアリング

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年6月
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