武蔵エンジニアリング

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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