武蔵エンジニアリング

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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