武蔵エンジニアリング

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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