武蔵エンジニアリング

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  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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