東京精密

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年11月
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