東京精密

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  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
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