東京精密
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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