東京精密

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年3月
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