東京精密

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    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年11月
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