東京精密

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年6月
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