東京精密

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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