東京精密

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
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