東京精密

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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