東京精密

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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