東京精密

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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