東京精密

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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