東京精密

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年12月
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