東京精密

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  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

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