東京精密

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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