東京精密

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年6月
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