東京精密

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
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