東京精密

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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