東京精密

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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