東京精密

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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