東京精密

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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