東京精密

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年3月
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