東京精密

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年4月
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