東京精密

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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