東京精密

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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