東京精密

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年4月
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