東京精密

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  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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