東京精密

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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