東京精密

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  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

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  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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