東京精密

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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