東京精密

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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