東京精密

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. RF電源　RFPP　RF20S

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年6月
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