東京精密

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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