東京精密
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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真空乾燥機 アズワン AVO-310V
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