東京精密

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年3月
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