東京精密

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  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年1月
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