東京精密

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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