東京精密

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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