東京精密

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  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

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  10. イオンコーター・日立・E-1010

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  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

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  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

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  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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