東京精密

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
2026年5月
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