東京精密

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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