東京精密

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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