東京精密

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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