東京精密

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  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

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  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

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  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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