東京精密

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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