東京精密

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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