東京精密

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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