東京精密

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  6. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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