東京精密

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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