東京精密

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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