東京精密

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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