東京精密

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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