東京精密
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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