東京精密

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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