東京精密

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
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