振動計

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年6月
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