光源装置

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年10月
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