光源装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …
2026年6月
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